表面粗糙度測(cè)量?jī)x是評(píng)定零件表面質(zhì)量的臺(tái)式粗糙度儀?？蓪?duì)多種零件表面的粗糙度進(jìn)行測(cè)量，包括平面、斜面、外圓柱面，內(nèi)孔表面，深槽表面及軸承滾道等，實(shí)現(xiàn)了表面粗糙度的多功能精密測(cè)量。表面粗糙度的測(cè)量方法基本上可分為接觸式測(cè)量和非接觸式測(cè)量?jī)深?lèi)。在接觸式測(cè)量中主要有比較法、印模法、觸針?lè)ǖ龋环墙佑|測(cè)量方式中常用的有光切法、實(shí)時(shí)全息法、散斑法、像散測(cè)定法、光外差法、AFM、光學(xué)傳感器法等。

　　觸針式表面粗糙度測(cè)量?jī)x是可靠的表面粗糙度測(cè)量?jī)x，并且一直是各國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及標(biāo)準(zhǔn)制定的依據(jù)。根據(jù)傳感器的不同原理，觸針式粗糙度儀可分為電感式、壓電式、光電式、激光式和光柵式等，還可以分為有導(dǎo)頭式和無(wú)導(dǎo)頭式。導(dǎo)頭式粗糙度儀僅限用于測(cè)量表面粗糙度，而無(wú)導(dǎo)頭式粗糙度儀除可用于測(cè)量表面粗糙度外，還可用于測(cè)量表面波紋度和表面幾何形狀。

　　評(píng)價(jià)粗糙度參數(shù)的根據(jù)是粗糙度輪廓，是對(duì)原始輪廓用一個(gè)輪廓濾波器，抑制掉長(zhǎng)波成份而得到。是輪廓偏離平均線的算術(shù)平均，并且是在一個(gè)取樣長(zhǎng)度內(nèi)定義的。影響濾波數(shù)據(jù)的因素有：1、取樣長(zhǎng)度和評(píng)定長(zhǎng)度的選用:取樣長(zhǎng)度是用于判別具有表面粗糙度特性的一段基準(zhǔn)線長(zhǎng)度。評(píng)定長(zhǎng)度是用于評(píng)定粗糙度時(shí)必須取一段能

　　反映加工表面粗糙度特性的zui小長(zhǎng)度。2、濾波器的高、低通取樣長(zhǎng)度和帶寬比的選用也對(duì)測(cè)量結(jié)果有著十分重要的影響。取樣波長(zhǎng)是表面形貌測(cè)量時(shí)，儀器響應(yīng)的表面特性（表面波長(zhǎng)）的zui長(zhǎng)間距，其范圍通常是0.08mm～8mm。